吸込ユニット 商品写真1
機材名称 吸込ユニット
適用機種
FDUKP565SA | FDUP221LXZ | FDUP281LXZ | FDUP361LXZ | FDUP451LXZ | FDUP561LXZ | FDUP711LXZ | FDUP801LX…
FDUKP565SA | FDUP221LXZ | FDUP281LXZ | FDUP361LXZ | FDUP451LXZ | FDUP561LXZ | FDUP711LXZ | FDUP801LXZ | FDUP901LXZ | FDUZP566S | FDUZP636S | FDUZP806S | GUP455M1A | GUP565M1A | GUP715M1A | GUP905M1A
対応チャンバ適用品番

寸法(W) [mm] 650
寸法(H) [mm] 250
寸法(L) [mm] 300
寸法(ΦD) [mm] Φ200
圧力損失(初期・カッコ内はフィルタ分) [Pa] 30(20)
注記