吸込ユニット 商品写真1
機材名称 吸込ユニット
対応チャンバ適用品番
寸法(W) [mm] 1800
寸法(H) [mm] 500
寸法(L) [mm] 450
寸法(ΦD) [mm] Φ400オーバル×2
圧力損失(初期・カッコ内はフィルタ分) [Pa] 40(30)