吸込ユニット
形式/品番
SA04159
希望小売価格
¥84,000現地断熱工事不要の省工事タイプです。
| 機材名称 | 吸込ユニット |
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| 適用機種 | FDUP221LXZ | FDUP281LXZ | FDUP361LXZ | FDUP451LXZ | FDUP561LXZ | FDUZP566S | GUP455M1A | GUP565M1A |
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| 対応チャンバ適用品番 |
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| 寸法（W） [mm] | 750 |
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| 寸法（H） [mm] | 250 |
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| 寸法（L） [mm] | 400 |
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| 寸法（ΦD） [mm] | Φ300 |
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| 圧力損失（初期・カッコ内はフィルタ分） [Pa] | 30（20） |
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| 注記 |
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